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當前位置:首頁技術文章用于半導體、電子元件的氧分析儀MS-500

用于半導體、電子元件的氧分析儀MS-500

更新時間:2025-07-02點擊次數:289

MS-500 規格

測量原理氧化鋯濃縮池類型
類型分離型(轉換器:壁掛式;傳感器:直接插入式)
顯示系統4 位數字顯示(濃度顯示)
測量范圍0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 100 / 100vol%O210-20~10-0ATM
自動系列
重復性滿量程的 ±0.5% 以內;范圍 0-1% 或更高
在滿量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以內,以較大者為準;范圍小于 0-1
% 濃度在 0-1 ppm 之間,大氣壓范圍不在保修期內。
測量點數量1~8
樣氣要求壓力10-3至 200KPa(絕對壓力)
流量0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min(在自然分散狀態下測量)
濕度露點低于環境溫度
溫度0 至 100°C
別人不得含有腐蝕性氣體(氟氣、氯氣、硫化氣等)、含有有機硅的氣體、易燃物質(包括氣體)、油或濕氣
參比氣體大氣層
記錄器輸出僅傳輸輸出
傳輸輸出RS-232C 系列
警報輸出沒有
預熱時間6 分鐘或更短
尺寸MS-500(控制器)92 mm (W) ×44 mm (H)×120 mm (D)(不包括突出部分)
MS-510(轉換器)100 mm(寬)×40 mm(高)×88 mm(深)(不包括突出部分)
傳感器單元SD16NW型全長 100mm(傳感器 ? 11×39,機身 ? 40×51)
SD25NW型全長 100mm(傳感器 ? 11×42,機身 ? 40×48)
SD40NW 系列全長 100mm(傳感器 ? 11×41,機身 ? 40×49)
重量MS-500(控制器)約 0.6 kg
MS-510(轉換器)約 0.5 kg
傳感器單元SD16NW型約 0.2 kg
SD25NW型約 0.2 kg
SD40NW 系列約 0.35 kg
外部連接任何真空法蘭(NW16、25 或 40)
權力24VDC±10%


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