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當前位置:首頁技術文章日本真空計的優點

日本真空計的優點

更新時間:2025-08-12點擊次數:289
日本真空計以其高精度、寬量程及良好的環境適應性等優勢,在半導體、真空鍍膜等領域應用廣泛,具體優點如下:


  • 測量精度高:部分日本真空計采用先進的測量原理和技術,如日本 wsc 數字廣域真空計 WVG-8802DM 型,將皮拉尼真空計和電離真空計相結合,能自動切換測量模式,確保測量的連續性和準確性。OKANO 岡野的 APG-202N32 真空計精度可達 ±0.25% FS±1dig。

  • 測量范圍廣:許多日本真空計可覆蓋較寬的壓力范圍,滿足不同場景需求。如岡野制作所的 AMC 型真空計,測量范圍為 5.0×10?2~1.0×10?Pa。WVG-8802DM 型真空計測量范圍能從 4.9×102Pa 到 1.0×10??Pa。

  • 穩定性好:一些真空計具備自動零點校正功能,可減少溫度漂移影響,如 OKANO 的 GP 系列真空計。日本山武 azbil 藍寶石隔膜真空計采用零點不易漂移的構造,且通過先進的信號處理技術,實現了溫度特性、直線性等誤差小的檢測。

  • 響應速度快:部分產品響應時間短,能快速反映真空度變化,適用于動態真空控制。如 OKANO 的熱規(GP 系列)響應時間<0.5 秒。

  • 抗干擾與抗污染能力強:OKANO 的電離規采用抗氧化陰極(IG-500A),壽命延長 3 倍,電容規(CG 系列)全金屬密封,耐酸堿腐蝕。愛發科皮拉尼真空計由高度耐腐蝕的鉑制成燈絲,且具有高抗沖擊性的結構設計。

  • 功能多樣便捷:日本真空計通常具備多種實用功能,部分真空計配備外部觸點,可通過數字開關任意設置壓力,還具備燈絲遠程 ON/OFF、燈絲斷開信號等控制信號,便于集成到自動化設備中。一些真空計還設有燈絲加熱清洗功能,可去除燈絲上的油分等附著物,保持測量準確性。


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